Большая разница между топологией MEMS и топологией интегральной схемы - это использование уникальных, неправильных форм. В отличие от стандартного проекта IC CMOS, где формы топологии обычны - прямоугольники или прямолинейные многоугольники, проектирование MEMS использует намного более широкое разнообразие конфигураций.

Этот документ с двумя частями описывает, как и почему поддержка и простота использования для реализации неправильных форм, включая кривые и произвольные многоугольники, являются критическим критерием, дифференцирующим MEMS-ориентированные инструменты CAD от стандартных ориентированных на интегральную схему инструментов.

В этом документе мы рассмотрим:
• начертание кривых и многоугольных  форм - торы, круги, сектора геометрических фигур и произвольные многоугольники
• экземпляры, иерархию и повторное использование 
• преобразование кривой в многоугольник
• получение слоев  для сложных форм

Скачать PDF – технический документ
Часть 1 фокусируется на редактировании слоя
Часть 2 на верификации